石墨烯,最新Science!
2026-10-09 14:42:06
作者:高分子科学前沿 来源:高分子科学前沿
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高对称量子材料中,晶体对称性通过严格选择定则决定电子行为,高对称晶体中异常输运因精确抵消而被禁止;低对称材料可系统破缺限制,释放Berry曲率物理与量子几何响应。当前低对称系统主要依赖外场操控和复杂异质堆叠,如扭转石墨烯、二维过渡金属硫族化合物莫尔超晶格,需应变工程或垂直电场同时破缺反演与C₃旋转对称,才能观测本征非线性霍尔效应(NLHE)。此类异质结构常需复杂转移,引入缺陷和界面污染,降低重复性;额外外场也增加片上集成难度。准一维莫尔超晶格如纳米管或纳米卷虽破缺C₃并产生强各向异性,但难以在宏观尺度组装均匀阵列。因此,晶圆级均匀低对称莫尔超晶格合成成为实际应用关键。鉴于此,中国科学院上海微系统与信息技术研究所狄增峰研究员、田子傲研究员、上海科技大学寇煦丰教授、南方科技大学卢海洲教授用表面预熔工程(SPE)在Ge(110)上制备晶圆级低对称石墨烯。受控预熔形成条纹Ge表面图案,使石墨烯对称性从D₆ₕ降至C₁ᵥ,获得室温非线性霍尔电导率约11 μm V⁻¹Ω⁻¹。第一性原理计算将其归因于杂化Ge带与石墨烯狄拉克锥形成的过倾斜大质量狄拉克锥。集成非线性霍尔整流器可从射频输入产生>20 mV输出,驱动商用升压器和发光二极管,建立了CMOS兼容的晶圆级非线性量子器件路线。相关研究成果以题为“Wafer-scale low-symmetry graphene moiré superlattice for integrated quantum rectifiers”发表在最新一期《science》上。低对称石墨烯莫尔超晶格晶圆的制备始于Ge(110)表面预熔Ge(110)加热至914°C,较体熔点937°C低约23°C,第一双层表面原子可移动而体晶性保留;准液态表面层减少缺陷并为单晶石墨烯提供取向引导。受控冷却形成不同形貌:无序/非晶表面得到D₆ₕ-石墨烯(图1a),高度有序条纹图案(0.56 nm周期)模板C₁ᵥ-石墨烯莫尔超晶格(图1b)。SHG中,C₁ᵥ-石墨烯强度远高于D₆ₕ-石墨烯,并呈二重图案,而D₆ₕ-石墨烯为圆形图案。DFT和MD表明条纹相能量有利;从1000 K冷却至300 K,低冷却速率70 K/ns可达条纹状Ge表面,高冷却速率700 K/ns则形成非晶(图1c)。STM中,-1 V偏压分辨出沿[-110]方向的1D Ge原子链和0.56 nm条纹周期(图1d);-0.1 V偏压下石墨烯呈均匀蜂窝晶格,扶手椅方向与条纹对齐(图1e);-0.06 V偏压下出现六角莫尔超晶格,|a₁|=|a₂|=1.4 nm,夹角60°(图1f)。结构模型显示,条纹相Ge(110)为p2mg面群(图1g),本征单层石墨烯为D₆ₕ点群(图1h),界面形成仅保留一个平行Ge [001]镜面的C₁ᵥ异质结构(图1i)。Raman、SAED、FFT和偏振SHG确认晶圆级高质量。

六探针霍尔条中,纵向电流沿Ge(110)条纹,测量横向霍尔电阻(图2a)。8 T、2 K旋转面内磁场时,C₁ᵥ-石墨烯的Rᵧ为2π周期cos(φ)行为,D₆ₕ-石墨烯信号可忽略(图2b)。两个条纹相取向相差45.3°和25.5°的器件产生约47°和30°角移,说明APHE源于对称性调制而非面外场分量(图2c)。无磁场300 K下,C₁ᵥ-石墨烯出现二次谐波电压Vᵧ²ω,D₆ₕ-石墨烯没有(图2d);角度依赖NLHE(图2e);Vᵧ²ω与Iω关系中整流非线性霍尔电压与二次谐波电压比值恒定(图2f)。2.4 GHz Wi-Fi下,Vₒᵤₜᵈᶜ随有效入射rf功率变化,斜率约0.1(图2g)。温度依赖的二阶非线性电导率比较显示C₁ᵥ-石墨烯在室温显著(图2h),χᵧₓz与σₓₓ呈标度关系(图2i)。实验室温χᵧₓz约11 μm V⁻¹Ω⁻¹,超过现有莫尔或体材料体系。理论表明,Ge衍生抛物线带与石墨烯狄拉克锥在费米能级以上23.2 meV相交,强层间杂化打开小隙,形成过倾斜大质量狄拉克锥,其群速度超过狄拉克速度,并产生发散Berry曲率热点。零温下χᵧₓz在EF=0为-0.1855 μm V⁻¹Ω⁻¹,在EF约0.0232 eV附近峰值达64.45 μm V⁻¹Ω⁻¹,并在约0.0245 eV出现负峰(图3f)。计算温度依赖与实验一致:低温NLHE弱,室温响应显著(图3g)。图 2低对称性 C 1v 石墨烯莫尔超晶格的磁输运与电输运特性图 3通过计算得出的巨大非线性霍尔电导率,其产生源于杂化后的锗能带中那些倾角较大的狄拉克锥,以及石墨烯中的无质量狄拉克锥。NR阵列通过标准BEOL工艺制造。第二层Au互连兼具信号路由和集成接收天线功能,使NR阵列成为无需外部天线的自包含整流天线系统。4×4 NR阵列集成在印刷电路板上,与商用电源管理模块耦合,用于收集环境Wi-Fi能量(图4a)。4英寸晶圆含整流天线裸片,可制备2×2、3×3、4×4、5×5串联Hall探针配置的多尺度整流天线;单个NR的伪彩SEM可见(图4b)。3×3、4×4、5×5 NR阵列的Vₒᵤₜᵈᶜ随Pᵢₙʳᶠ变化(图4c)。4×4 NR的Φᵈᶜ随Pᵢₙʳᶠ变化,并比较不同整流方案(图4d)。rf-to-dc模块中,整流天线裸片经引线键合(图4e)。在rf辐射下可点亮LED(图4f)。4×4 NR阵列在-16 dBm输入功率下产生超过20 mV直流输出,足以在环境条件下驱动商用升压器和LED。SPE在Ge(110)上实现晶圆级低对称石墨烯莫尔超晶格,将石墨烯对称性从D₆ₕ降至C₁ᵥ,并产生室温巨大NLHE。基于该χᵧₓz,集成NR可从2.4 GHz Wi-Fi信号产生稳定直流电压,构建3×3、4×4、5×5自包含整流天线裸片,并驱动商用升压器和LED。该策略为工程多种对称破缺莫尔材料提供通用、可扩展平台,也为晶圆级非线性量子器件和低功耗射频能量收集应用开辟道路。
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